受益于下游电视、电脑、手机等消费类电子产品以及商显、车载、医疗等专显产品需求的推动,近年来中国显示面板市场规模整体呈增长态势,由2016年的2984亿元增长至2023的5694亿元,但整体增速逐步趋缓,市场竞争进一步加剧。中大尺寸市场仍由LCD技术主导,但竞争格局较为固定,需要进一步提升产品良率,降本增效,以提升产品利润和竞争力。OLED技术逐渐成熟,占领小尺寸市场,但与LCD相比在工艺成熟度和产品良率上仍有较大的提升空间。综上,在LCD和OLED面板的制造中,产品良率提升都是下一阶段需要迫切解决的问题。
静电的产生是因为每一种材料的电子能级不同,两种不同材料在接触时会发生电荷转移。由于静电的负面效应,使得保持高水准的产品质量和产品良率更加困难。平板显示制程中常见静电损害主要有ESA(颗粒吸附)污染、ESD(静电放电)污染和电磁波干扰引起的设备故障三种。其中ESA污染是因为产品制程中的移动会造成产品表面有静电场的存在,它的静电场会把附近的微粒吸引到它的表面,并且其吸力较大,极难在没有机械力的情形下清除。微粒的静电吸附,增加了芯片表面的污染,进而降低了良率。
四方光电研制的在线尘埃粒子计数器可以实时监测洁净车间中单位体积内空气中不同粒径的悬浮颗粒物的个数,并通过3.5寸触摸屏显示粒径信息和警报提示,当微粒超标时可通过内置蜂鸣器报警,能有效应用于面板生产洁净车间中,满足监测需求。四方光电在线尘埃粒子计数器OPC-6303DS/OPC-6510DS/OPC-6511DS采用光学散射原理,内置四方光电独有的尘源智能识别模块,具有高效粒子识别率,检测精度高;内置超声波气体流量传感器,实现28.3L恒流采样,数据长期稳定性高;低噪音涡轮风机采样,连续监测稳定性好,寿命长;满足IS014644-1:2015、新版GMP、JF1190-2008、GB/T6167-2007标准,广泛应用于百级、千级、万级、十万级等洁净室环境。