激光尘埃粒子计数传感器PM3003SN -四方光电股份有限公司

洁净室

四方光电基于10年光散射技术的研究与创新，提供洁净室在线监测解决方案，推出了激光型粒子计数传感器PM5000S与PM3003NS，以及在线粒子计数器OPC-6500F和OPC-6303P，可广泛应用于医药行业、电子行业、食品卫生行业、光电工程及航空航天等。

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四方光电尘埃粒子计数器精准监测微粒污染，助力显示面板制程良率提升

受益于下游电视、电脑、手机等消费类电子产品以及商显、车载、医疗等专显产品需求的推动，近年来中国显示面板市场规模整体呈增长态势，由2016年的2984亿元增长至2023的5694亿元，但整体增速逐步趋缓，市场竞争进一步加剧。中大尺寸市场仍由LCD技术主导，但竞争格局较为固定，需要进一步提升产品良率，降本增效，以提升产品利润和竞争力。OLED技术逐渐成熟，占领小尺寸市场，但与LCD相比在工艺成熟度和产品良率上仍有较大的提升空间。综上，在LCD和OLED面板的制造中，产品良率提升都是下一阶段需要迫切解决的问题。

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四方光电尘埃粒子计数器在半导体洁净生产中的应用

随着电子信息产业的迅速发展，中国半导体行业市场规模也从2017年的1315亿美元增长至2022年的1820亿美元。基于半导体产业国产化进程不断加快，下游晶圆厂也在不断扩张，中国芯片制造商预计2024 年将新开18座晶圆厂，产能将从760万片推升至860 万片。在半导体国产化趋势下，国内晶圆厂的扩张也有望带动半导体配套设备的国产替代需求，将随着晶圆工厂的扩产持续增加。

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四方光电在线尘埃粒子计数器，洁净室环境监测的“火眼金睛”

随着新能源锂电池、半导体、生物制药、液晶面板等领域的快速发展，对生产环境的洁净度提出了更高的要求，有效控制洁净室空气中的尘埃粒子浓度至关重要。按照国家相关规定，洁净室在设计、建造以及交付运行以后，都需要对其性能和合理性进行综合评价分析。那么，企业为了满足生产条件搭建符合标准要求的洁净室环境，该如何实现对尘埃粒子的监测呢？

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四方光电在线粒子计数器在洁净室的创新应用

四方光电在线粒子计数器在洁净室的创新应用在医药、电子、食品、航空航天、生物工程、精密加工等领域，相关生产作业过程中环境空气需要满足较高洁净度的要求，并符合相关行业标准，例如制药行业需要符合GMP标准。客户一般采用粒子计数器来针对作业环境进行检测，在国内相关检测设备需要符合国家计量总局颁布的JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》规程的技术要求。

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技术原理

【技术原理】光散射探测

空气中的粒子对入射光有散射作用，散射光的强度与粒径有关。将含有颗粒的空气从采样口吸入，通过光敏感区时，尘埃粒子受光照射，散射出与粒子大小成一定比例的光脉冲信号，该信号被光敏器件接收并转换成相应的电脉冲信号再被放大，通过对一个检测周期内电脉冲的计数，便可得知单位采样空气中的粒子个数（pcs/L），进而可通过算法换算为质量浓度（μg/m3）。

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检测原理	激光散射原理
检测量程	0~10,000,000 pcs/L (1pcs/L=28.3pcs/cf)
输出通道	0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.5μm、5.0μm、10μm
上电稳定时间	≤8s
数据刷新频率	1s
计数效率	50%@0.3μm 100%@≥0.5μm (以TSI9306作为参考，25℃±2℃，50±10%RH环境条件)
工作条件	-30°C~70℃，0~95%RH(非凝结)
储存条件	-40°C~85°C，0~95%RH(非凝结)
工作电压	DC 5.0V±0.1V；纹波<50mV
工作电流	<150mA
待机电流	<25mA
通讯方式	①UART_TTL(3.3V/5V) ②IIC(3.3V/5V) ③RS485
产品尺寸	W82H40.2D26.3(mm)

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激光尘埃粒子计数传感器PM3003SN

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